电子的必要特性是亮度要高、电子能量散布 (Energy Spread) 要小，目前常用的种类计有三种，场发射扫描电镜型号，钨(W)灯丝、六硼化镧(LaB6)灯丝、场发射 (Field Emission)，不同的灯丝在电子源大小、电流量、电流稳定度及电子源寿命等均有差异。
热游离方式电子有钨(W)灯丝及六硼化镧(LaB6)灯丝两种，场发射扫描电镜分辨率，它是利用高温使电子具有足够的能量去克服电子材料的功函数(work function)能障而逃离。
对发射电流密度有重大影响的变量是温度和功函数，场发射扫描电镜厂家，但因操作电子时均希望能以低的温度来操作，以减少材料的挥发，所以在操作温度不提高的状况下，就需采用低功函数的材料来提高发射电流密度。
在物镜的级靴附近加设一个特殊的附加静电装置
在物镜的级靴附近加设一个特殊的附加静电装置，用来同时汇集一次电子并提取二次电子，再加上物镜顶部环形探测器接收的面积大，灵敏度高，在短工作距离下能明显改善图像的信噪比和提高分辨力。
采用透镜内探测器或安装在物镜上方的探测器，都能明显改善低加速电压和短工作距离时的图像信噪比和分辨力。
在WD较小时，不仅可以减小物镜球差和消除传统E-T探测器前端栅网上加速电位带来的影响，而且它接收到的几乎都是在入射束照射下直接产生的二次电子，排除了背散射电子等其他信号所产生的次生或间接的二次电子，因而有助于提高图像分辨力。
当电子束照射到样品上，电子便会与样品发生多种反应。
其中部分电子可以直接透过样品；部分电子被样品散射开来；另外一部分电子从样品表面反射出来。
把所有这些不同类型的电子收集起来，并使它们成像，河北场发射扫描电镜，便可以构成不同类型的电子显微镜。
其中，把样品表面反射回来的电子收集起来并成像，这种电子显微镜叫做扫描电子显微镜。
扫描电镜的试样制备 扫描电镜一个突出的特点就是对样品的适应性很大，所有的固态样品，无论是块状的、粉末的、金属的、非金属的、有机的、无机的都可以观察。
而且样品的制备比较简单，但仍需要一定的技术和要求，否则就不能达到满意的结果。
一般的扫描电镜对样品的要求主要有：适当的大小和良好的导电性。
扫描电镜景深长成像越立体。
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