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电子束以栅网模式扫描样品

在SEM中,电子束以栅网模式扫描样品。
首先,扫描电子显微镜厂家,电子在镜筒顶部生成电子。
当电子的热能超过了源材料的功函数时,就会被释放出来,河北扫描电子显微镜,然后它们加速向带有正电荷的阳极高速移动。
整个电子镜筒必须处于真空状态。

像电子显微镜的所有组件一样,电子也被密封在特殊的真空室中以保护它不受污染、振动和噪音的影响。
除了保护电子不受污染,真空环境有利于得到高分辨率图像。

若非真空环境,镜筒中可能存在其他原子和分子,扫描电子显微镜研发,它们与电子相互作用,使电子束发生偏转,从而降低图像质量。
高真空环境也提高了镜筒内检测器对电子的收集效率。


单晶硅太阳能电池绒面的减反射膜

为了减少硅片表面入射光反射率,除了硅片表面绒面化,还有一个有效方法是在电池受光面制备减反射膜。
在绒面上在沉积一层减反射膜,可使硅表面光反射率降低 5% 下。
目前在生产中普遍使用 SiNx 作为减反射膜,主要是因为 SiNx 膜不仅具有良好的减反射效果,还能起到很好的表面钝化作用。
如下图所示,单晶硅太阳能电池绒面的减反射膜。

光伏电池生成的电流需要通过其表面的电极进行收集和输送。
太阳能电池制造过程中,需要在硅片上印刷金属浆料,用来制备电池接触电极。
烧结后,在电池表面形成正面电极和背面电极,从而起到收集和传输电流的作用。


真空系统主要包括真空泵和真空柱两部分。

真空柱是一个密封的柱形容器。
真空泵用来在真空柱内产生真空。
有机械泵、油扩散泵以及涡轮分子泵三大类,机械泵加油扩散泵的组合可以满足配置钨灯丝的扫描电镜的真空要求,但对于装置了场致发射或六硼化镧及六硼化的扫描电镜,则需要机械泵加涡轮分子泵的组合。
成象系统和电子束系统均内置在真空柱中。
真空柱底端即为右图所示的样品室,扫描电子显微镜价格,用于放置样品。

需要真空的原因包括:一是电子束系统中的灯丝在普通大气中会迅速氧化而失效,所以需要抽真空。
二是为了增大电子的平均自由程,从而使得用于成象的电子更多。


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