现在使用量的太阳能电能是晶体硅太阳能电池,主要包括多晶硅和单晶硅两种太阳能电池,占比的装机量的 90% 以上。
制造硅基太阳能电池,往往采用 P 型硅片,其制备步骤如下:将切割和抛光后的硅片清洗,对硅表面腐蚀和制备绒面,扩散 P 原子制备 PN 节,化学腐蚀并去除边缘,在受光面制备减反射膜,利用丝网印刷和烧结工艺制备正面和背面电极,后进行电池检测和分类。
背向散射电子(BackscatteredElectr)
背向散射电子(Backscattered Electr):入射电子与样品子发生弹性碰撞,天津扫描电子显微镜,而逃离样品表面的高能量电子,其动能等于或略小于入射电子的能量。
背向散射电子产生的数量,会因样品元素种类不同而有差异,样品中平均原子序越高的区域,释放出来的背向散射电子越多,背向散射电子影像也就越亮,因此背向散射电子影像有时又称为原子序对比影像。
由于背向散射电子产生于距样品表面约5000?的深度范围内,天津扫描电子显微镜,由于入射电子进入样品内部较深,电子束已被散射开来,因此背向散射电子影像分辨率不及二次电子影像。
场发射放大倍率由25倍到650000倍,在使用加速电压15kV时,分辨率可达到1nm,加速电压1kV时,分辨率可达到2.2nm。
一般钨丝型的扫描式电子显微镜仪器上的放大倍率可到200000倍,实际操作时,扫描电子显微镜销售,大部份均在20000倍时影像便不清楚了,但如果样品的表面形貌及导电度合适,大倍率 650000倍是可以达成的。
由于对真空的要求较高,有些仪器在电子及磁透镜部份配备了3组离子泵(ion pump),在样品室中,配置了2组扩散泵(diffusion pump),在机体外,以1组机械泵负责粗抽,所以有6组大小不同的真空泵来达成超高真空的要求,另外在样品另有以液态氮冷却的冷阱(cold trap),协助保持样品室的真空度。
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