从试样表面形貌获得多方面资料：因为扫描电子象不是同时记录的，它是分解为近百万个逐次依此记录构成的。
使得扫描电镜除了观察表面形貌外还能进行成分和元素的分析，以及通过电子通道花样进行结晶学分析，河南场发射扫描电镜，选区尺寸可以从10μm到3μm。
现在扫描电镜已广泛用于材料科学（金属材料、非金属材料、纳米材料）、冶金、生物学、医学、半导体材料与器件、地质勘探、病虫害的防治、灾害（火灾、失效分析）鉴定、侦察、宝石鉴定、工业生产中的产品质量鉴定及生产工艺控制等。
扫描电镜喷金工艺在样品表面形成薄膜有多种方法
扫描电镜喷金工艺
在样品表面形成薄膜有多种方法，对于sem扫描电镜和X射线显微分析，只有热蒸发和离子溅射镀膜实用。
蒸发镀膜：许多金属和无机绝缘体在真空中被某种方法加热，当温度足够高，蒸发气压达到1.3Pa以上时，就会迅速蒸发为单原子。
优点：可提供碳和多种金属的镀层，镀层精细均匀，适合非常粗糙的样品，高分辨研究。
可以喷碳，有利于对样品中非碳元素的能谱分析。
非导电样品观察背散射电子图像，进行EBSD分析，场发射扫描电镜分辨率，也应该喷碳处理。
电子束引致电流(Electron-beam induced Current ，场发射扫描电镜型号， EBIC)：当一个p-n接面(Junction)经电子束照射后，会产生过多的电子-空位对，这些载子扩散时被p-n接面的电场收集，场发射扫描电镜厂家，外加线路时即会产生电流。
阴极发光(Cathodoluminescence)：当电子束产生之电子-空位对再结合时，会放出各种波长电磁波，此为阴极发光(CL)，不同材料发出不同颜色之光。
样品电流(Specimen Current)：电子束射到样品上时，一部份产生二次电子及背向散射电子，另一部份则留在样品里，当样品接地时即产生样品电流。
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