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河南扫描电子显微镜 天津迈基尔 扫描电子显微镜厂家
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扫描电镜是一种高精度高分辨率的台式设备

扫描电镜是一种高精度高分辨率的台式设备,在很多领域都被应用到,从样品的表面形貌可以获得多种数据,扫描电子显微镜生产,并通过信号处理方法,可以获得各种图像、特殊的显示方法,扫描电子显微镜厂家,高分辨率的台式扫描电镜不仅可以观察表面形貌,河南扫描电子显微镜,而且可以分析元件和成分,扫描电子显微镜研发,并通过电子通道模式进行结晶学分析。
选定的面积可以是10米至3米。

利用样品电流,根据平均原子数的对比,产生的化学成分相的分布图像与背面散射电子图像的暗与暗图像相反。
利用俄歇电子定性分析了化学元素在1nm 表面的分布。


扫描电子显微镜,是自上世纪60年代作为商用电镜面世以来迅速发

扫描电子显微镜,是自上世纪60年代作为商用电镜面世以来迅速发展起来的一种新型的电子光学仪器,被广泛地应用于化学、生物、医学、冶金、材料、半导体制造、微电路检查等各个研究领域和工业部门。
制样简单、放大倍数可调范围宽、图像的分辨率高、景深大、保真度高、有真实的三维效应等,对于导电材料,可直接放入样品室进行分析,对于导电性差或绝缘的样品则需要喷镀导电层。

从结构上看,如图2所示,扫描电镜主要由七大系统组成,即电子光学系统、信号探测处理和显示系统、图像记录系统、样品室、真空系统、冷却循环水系统、电源供给系统。


能量色散X射线光谱仪(EnergyDispersive X-Ray Spectroscopy,EDX)

能谱分析是当今材料领域研究人员广泛采用的技术。
如图3,利用SEM,各种信号可以提供给定样品的不同信息。
当SEM与EDX探测器结合使用时,X射线也可以用作产生化学信息的信号。

EDX借助于试样发出的元素特征X射线波长和强度进行分析,根据波长测定试样所含元素,根据强度测定元素相对含量。

根据探针在待测样品表面扫描方式不同,可分为点、线、面分析三种方式:

<1>点分析

将分析范围定位到样品中感兴趣的点上,进行定性或定量分析,常用于显微结构的成分分析,如材料的晶界,析出相,夹杂相等。

<2>线分析

电子束沿着特定的方向进行线扫描,能获得元素含量变化的线分布曲线。
如果和样品的形貌像相对照分析,可直观分析元素在不同相或区域内的分布和变化趋势。

<3>面分析

利用电子束对样品表面的特定区域进行扫描,元素在试样表面的分布能在CRT上以亮度分布显示(定性分析)。


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