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单晶硅太阳能电池绒面的减反射膜

为了减少硅片表面入射光反射率,除了硅片表面绒面化,还有一个有效方法是在电池受光面制备减反射膜。
在绒面上在沉积一层减反射膜,可使硅表面光反射率降低 5% 下。
目前在生产中普遍使用 SiNx 作为减反射膜,主要是因为 SiNx 膜不仅具有良好的减反射效果,还能起到很好的表面钝化作用。
如下图所示,单晶硅太阳能电池绒面的减反射膜。

光伏电池生成的电流需要通过其表面的电极进行收集和输送。
太阳能电池制造过程中,需要在硅片上印刷金属浆料,用来制备电池接触电极。
烧结后,在电池表面形成正面电极和背面电极,台式电镜厂家,从而起到收集和传输电流的作用。


适当的工作距离的选择,可以得到的影像

适当的工作距离的选择,可以得到的影像。
较短的工作距离,电子讯号接收较佳,可以得到较高的分辨率,但是景深缩短。
较长的工作距离,分辨率较差,河北台式电镜,但是影像景深较长,台式电镜多少钱,表面起伏较大的样品可得到较均匀清晰的影像。
SEM样品若为金属或导电性良好,则表面不需任何处理,可直接观察。
若为非导体,则需镀上一层金属膜或碳膜协助样品导电,膜层应均匀无明显特征,以避免干扰样品表面。
金属膜较碳膜容易镀,适用于SEM影像观察,通常为Au或Au-Pd合金或Pt。
而碳膜较适于X微区分析,主要是因为碳的原子序低,可以减少X吸收。


真空系统主要包括真空泵和真空柱两部分。

真空柱是一个密封的柱形容器。
真空泵用来在真空柱内产生真空。
有机械泵、油扩散泵以及涡轮分子泵三大类,机械泵加油扩散泵的组合可以满足配置钨灯丝的扫描电镜的真空要求,台式电镜研发,但对于装置了场致发射或六硼化镧及六硼化的扫描电镜,则需要机械泵加涡轮分子泵的组合。
成象系统和电子束系统均内置在真空柱中。
真空柱底端即为右图所示的样品室,用于放置样品。

需要真空的原因包括:一是电子束系统中的灯丝在普通大气中会迅速氧化而失效,所以需要抽真空。
二是为了增大电子的平均自由程,从而使得用于成象的电子更多。


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