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单晶硅太阳能电池绒面的减反射膜

为了减少硅片表面入射光反射率,除了硅片表面绒面化,还有一个有效方法是在电池受光面制备减反射膜。
在绒面上在沉积一层减反射膜,可使硅表面光反射率降低 5% 下。
目前在生产中普遍使用 SiNx 作为减反射膜,扫描电镜型号,主要是因为 SiNx 膜不仅具有良好的减反射效果,还能起到很好的表面钝化作用。
如下图所示,天津扫描电镜,单晶硅太阳能电池绒面的减反射膜。

光伏电池生成的电流需要通过其表面的电极进行收集和输送。
太阳能电池制造过程中,需要在硅片上印刷金属浆料,用来制备电池接触电极。
烧结后,在电池表面形成正面电极和背面电极,从而起到收集和传输电流的作用。


场发射扫描电镜(FESEM)

场发射扫描电镜(FESEM)是电子显微镜的一种,其原理是利用二次电子或背散射电子成像,对样品表面放大一定的倍数进行形貌观察,同时利用电子激发出样品表面的特征X射线来对微区的成分进行定性定量分析,是我们材料研究分析中一双亮丽的“眼睛”。

扫描电镜按照电子分类可以分为钨(W)灯丝、六硼化镧(LaB6)灯丝、场发射 (Field Emission)三种,场发射扫描电镜相比于钨灯丝、六硼化镧,具有电子束斑小、高分辨率、稳定性好等特点。


分析特征X的方式,扫描电镜价格,可分析特征X的能量分布,称为EDS,或分析特征X的波长,称为WDS。
X能谱的分辨率,在EDS中约有100~200eV的分辨率,在WDS中则有5~10eV的分辨率。
由于EDS的分辨率较WDS差,因此在能谱的解析上,较易产生重迭的情形。
由于电子束与样品作用的作用体积(interaction volume)的关系,特征X的产生和作用体积的大小有关,河南扫描电镜,因此在平面的样品中,EDS或WDS的空间分辨率,受限于作用体积的大小。


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