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二次电子是由于被入射电子“碰撞”而获得能量,逃出样品表面的核

二次电子是由于被入射电子“碰撞”而获得能量,逃出样品表面的核外电子,其主要特点是:

(1)能量小于50eV,较易被检测器前端的电场吸引,因而阴影效应较弱。

(2)只有样品表面很浅(约10nm)的部分激发出的二次电子才能逃出样品表面,因此二次电子像分辨率较高。

(3)二次电子的产额主要取决于样品表面局部斜率,因此二次电子像主要是形貌像。

可看成由许多不同倾斜程度的面构成的凸尖、台阶、凹坑等细节组成,这些细节的不同部位发射的二次电子数不同,天津台式电镜,从而产生衬度。

二次电子像分辨率高、无明显阴影效应、场深大、立体感强,是扫描电镜的主要成像方式,特别适用于粗糙样品表面的形貌观察。


电子束撞击样品的三个信号

当电子束撞击样品时,随着电子进一步穿透到样品内部,会发生多种相互作用。
在扫描电镜中有三个重要的信号,分别是背散射电子、二次电子、X 射线,如图 1 所示。
关于不同的信号来自于哪个深度,天津台式电镜型号,与高能量信号相比,天津台式电镜分辨率,样品深处产生的低能量信号到达表面的概率更低。
也就说,较低能量的信号更容易被样品吸收,而较高能量的信号更容易被散射。

二次电子能量相对较低(通常 < 50eV),天津台式电镜厂家,虽然在整个相互作用区中都可产生二次电子,但只有样品表面的二次电子才可以逸出材料表面,从而被检测到,这种特性使得二次电子可以提供更好的形貌信息成像。
背散射电子来自从样品中散射逸出的入射电子。
这种散射过程高度依赖于电子运动路径上所遇到的原子。
这意味着,可以从背散射电子信号中观察出成分称度差异。
背散射电子的能量比二次电子高一个数量级,可以提供样品更深处的成像信息。


背向散射电子(Backscattered Electr):入射电子与样品子发生弹性碰撞,而逃离样品表面的高能量电子,其动能等于或略小于入射电子的能量。
背向散射电子产生的数量,会因样品元素种类不同而有差异,样品中平均原子序越高的区域,释放出来的背向散射电子越多,背向散射电子影像也就越亮,因此背向散射电子影像有时又称为原子序对比影像。
由于背向散射电子产生于距样品表面约5000?的深度范围内,由于入射电子进入样品内部较深,电子束已被散射开来,因此背向散射电子影像分辨率不及二次电子影像。


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