使用强磁透镜，这是在透射电镜中装上附加的扫描附件，使试样发出的二次电子在强磁场中被检测、收集成像，即利用透射电镜的扫描附件做出扫描电镜才能完成的二次电子像，而且这种二次电子像的分辨力往往优于同类电子枪的扫描电镜。
理想膜层的特点：
①良好的导热和导电性能。
②在3-4nm分辨率尺度内不显示其几何形貌特点，避免引入不必要的人为图像。
③不管样品的表面形貌如何，覆盖在所有部位的膜层需要薄厚均匀。
④膜层对样品明显的化学成分有干扰，工业电子显微镜研发，也不显著的改变从样品中发射的X射线强度。
这层膜主要增加样品表面的导电性能和导热性能，导电金属膜层的厚度普遍电位在1-10nm。
场发射电子所选用的阴极材料
场发射电子所选用的阴极材料必需是高强度材料，以能承受高电场所加诸在阴极的高机械应力，钨即因高强度而成为较佳的阴极材料。
场发射通常以上下一组阳极来产生吸取电子、聚焦、及加速电子等功能。
利用阳极的特殊外形所产生的静电场，能对电子产生聚焦效果，所以不再需要韦氏罩或栅极。
(上)阳极主要是改变场发射的拔出电压(extraction voltage)，以控制针尖场发射的电流强度，而第二(下)阳极主要是决定加速电压，以将电子加速至所需要的能量。
背散射电子是由样品“反射”出来的入射电子，其主要特点是：
(1)能量高，从50eV到接近入射电子的能量。
(2)穿透能力比二次电子强得多，可从样品中较深的区域逸出(微米级)，工业电子显微镜生产，在这样的深度范围，入射电子已有相当宽的侧向扩展，因此在样品中产生的范围大，河北工业电子显微镜，图像分辨率较低；
(3)背散射电子产额随原子序数增大而明显增加，即样品平均原子序数Z大的部位产生较强的背散射电子信号，在荧光屏上形成较亮的区域；而平均原子序数较低的部位则产生较少的背散射电子，在荧光屏上形成较暗的区域，这样就形成原子序数衬度（成分衬度）。
与二次电子像相比，背散射像的分辨率要低，主要应用于样品表面不同成分分布情况的观察，比如有机无机混合物、合金等。
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